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以快速熱退火法加強金屬側向誘發結晶速率之研究 - 國立交通大學

這個方式主要是利用電漿輔助化學氣相沈積法(PE-CVD)或熱燈絲化. 學氣相沈積法(HW-CVD)，在低於玻璃軟化的溫度下，直接將複晶矽沈. 積於玻璃基板上。由於整個製程溫度可以低 ...

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