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深次微米矽製程技術 - 第 241 頁 - Google 圖書結果

片電阻 ( sheet resistance )可由四點探針( four point probe )量測。 6.4.3 金屬有機化學氣相沉積以銅作內連線會有銅擴散的問題,必須引入金屬阻障層。

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