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奈米薄膜技術與應用 - 第 374 頁 - Google 圖書結果

... 20nm × 1.5nm )作為透光率和片電阻( sheet resistance )測量試樣的基片。 ... 試驗中採用 SDY - 5 型雙電測四點探針( four point probe )測試儀測量薄膜片電阻。

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