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四點探針片電阻
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實驗二金屬薄膜沉積與四點探針方法Metal deposition and 4 ...
11 Step Coverage 在起伏較劇烈的表面,蒸鍍之金屬斷裂不連續。另外,多片晶圓的大面積蒸鍍也存在厚度均勻的問題。為此,晶片承載臺加上公轉自轉的轉盤 ...
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