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積體被動元件之薄膜電阻材料開發與特性研究

本研究主要在探討氮化鋯,氮化鉭及氮化矽鉭. 薄膜材料之電阻隨溫度上升的變化情形,以了解其. 於被動元件中薄膜電阻之應用.試片利用四點探針. 測量其片電阻值與溫度的變化 ...

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