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四點探針片電阻
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以磁控濺鍍製備雙層鉬薄膜背電極之研究 - 博碩士論文網
利用冷場發掃描式電子顯微鏡觀察薄膜表面和斷面形貌,X光繞射儀進行薄膜結晶性和殘留應力分析,利用四點探針儀量測電阻率和片電阻。研究結果顯示在厚度為500 nm工作 ...
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