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矽鉻靶材及濺鍍條件對薄膜電阻特性影響之研究 - 義守大學

不論在何種濺鍍條件下，薄膜的面電阻值會隨著薄膜厚度的增加， ... 用四點探針量測薄膜面電阻時，會因為四根探針壓入薄膜表面的深淺而有所.

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