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奈米壓印(Nanoimprint Lithography,NIL)技術的最新應用發展

利用室溫製程，在石英基板表面形成具凹凸圖案的透明模具。通常使用低黏度光硬化性樹脂做為光阻(Photoresist)，施加在石英模具光阻上的壓力只要0.1MPa以下( ...

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