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黃光製程> 顯影液 - 日益和股份有限公司

以正型光阻(Positive tone) 為例，曝光區域是可以被顯影掉，非曝光區域則是做為Hard mask用。 根據光阻的不同，需要不同的光源(Light source), 曝光能量(Exposure dose)。

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