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半导体设备行业浅析（五）——薄膜沉积、离子注入、热处理

根据工作原理不同，薄膜沉积工艺可分为物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积 ... 传统的退火技术包括高温炉退火、尖峰退火、激光/闪光毫秒退火等，普通炉 ...

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