為什麼這篇rta退火鄉民發文收入到精華區：因為在rta退火這個討論話題中，有許多相關的文章在討論，這篇最有參考價值！作者btowhu (大遊)看板Electronics標題[問題] RTA設備時間Tue Dec 20...
各位同學好!最近看了半導體製程的書，看到了RTA設備。
其中有一個圖想要請教一下，http://www.badongo.com/pic/14137374
這張圖是RTA內部設備的簡略圖:
加熱燈:熱源的主要來源，提供晶片熱能來做退火的動作
反射層:讓加熱的效能提升
進氣口:提供不同的氣體來達到不同的需求
紅外線測溫儀:測試腔體溫度，主要是用非接觸型的紅外線測溫槍
最後想要請問各位，他的石英窗是用來幹嘛的= =
有同學可以解惑一下嗎???謝謝~
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◆ From: 218.173.56.88
→ Alphatross:讓加熱的光可以經過石英窗加熱晶片...... 12/21 00:37
→ btowhu:可以請問樓上大大，沒有那個窗跟有窗的差別嗎?? 12/21 09:30
→ Alphatross:避免通入氣體與加熱燈反應,有些系統是沒有這種window的 12/21 20:29
→ Alphatross:^^^^^^這是我個人看法 12/21 20:29
→ btowhu:後來找了很多資料，石英窗的作用好像是讓加熱燈的紅外線波 12/25 13:24
→ btowhu:長，透過石英窗可以進入晶圓裡面，不過也正如樓上大大所說 12/25 13:24
→ btowhu:有些快速加熱爐並沒有石英窗的設計，所以真相如何可能要去 12/25 13:25
→ btowhu:問一下其他人了= = 12/25 13:25