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半導體退火原理
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新尖兵計畫半導體製程人才培訓班第一梯次
設備商與學界講師教授半導體製程設備原理、手把手訓練操作能力與考核,一系列做 ... 經由金屬快速熱退火進行液態磷摻雜,形成. PN 接面。 2. 旋塗液態磷與快速熱退火. 之 ...
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