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半導體功函數定義
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迎接「奈米片」電晶體新時代
首先,奈米片架構採用了矽(Si)和矽鍺(SiGe)透過長晶形成的多層結構來定義元件通道。 ... 最後是替代金屬閘極(RMG)整合步驟,包含奈米片層之間和周圍功函數( ...
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