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半導體元件與奈米電晶體
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執行現況與成果 - A世代前瞻半導體技術專案計畫
領域三:次奈米半導體元件與晶片關鍵技術探索. 3-1 高密度高效能半導體之關鍵元件與智慧架構開發 ... 3-7 高遷移率高層數極薄通道的三維電晶體及支援技術.
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