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半導體元件與奈米電晶體
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矽奈米線場效電晶體之研究
因此研究矽奈米線場效電晶體元件元件成為刻不容緩之事。 本論文研究利用已經發展成熟的矽半導體製程技術,與熱氧化應力限制原理,設計製作完全環繞式閘極之矽奈米線場 ...
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