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TW201916375A - 半導體元件製造方法以及半導體元件

隨著半導體產業進入奈米製程技術節點，以追求更高元件密度、更高效能以及更低成本，來自製造以及設計的挑戰造就了三維設計的發展，諸如多閘極場效電晶體(multi-gate ...

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