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環形平面加速規與陀螺儀混成式微感測器之研究與實作 - 9lib TW
計劃中將以加速規與速度陀螺儀結合的觀點進行微結構設計、感測機制設計、控制迴路與比較迴路設計。由於混成式微感測器的工作原理係利用靜電力驅動結構於結構之自然共振 ...
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