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整合性材料檢測 - 台灣半導體研究中心

薄膜功函數分析技術 ... 利用XPS來量測金屬材料的功函數(work function)。功函數的定義為電子脫離原子的臨界能量，所以當光電子產生要脫離原子時，必須要克服功函數 ...

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