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全球首次提出用光圈控制雷射散焦現象 - 清華大學電機系

在高次諧波產生極紫外光(EUV)之過程中，較高光子能量的EUV轉換效率較低，故大多數桌上型高次諧波光源的應用僅僅限於光子能量較低的EUV。然而轉換效率低並非由於缺乏高亮度 ...

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