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像散式量測系統於光學輪廓儀之應用 - 智財技轉處

一般傳統掃描探針顯微術（SPM）使用光槓桿原理來偵測SPM探針的位移，無法使用雷射光直接掃描樣品表面。 以像散式量測系統（ADS）為核心的多模式量測光路除了可使用ADS偵測 ...

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