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[19]中华人民共和国国家知识产权局

根据权利要求1的蚀刻溶液,该蚀刻溶液含氢氟化铵、水和 ... 具有一个杂原子的有机溶剂的实施例包括甲醇(相对介电常数: 32.6(25℃)),乙醇(相对介电常数:24.6(25℃)), ...

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