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鹼式單階段水熱製程製備結晶孔洞型二氧化矽低介電薄膜

低介電常數材料在現今半導體工業中扮演相當重要的角色，其中在鹼性環境下以多階段水熱法製備之孔洞結晶型二氧化矽薄膜具有介電常數低、機械強度佳以及製程整合簡單的 ...

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