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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 整合多孔洞低k ...

雖然氮化矽有很好的阻障能力，但因為介電常數太. 高(k~7)已不符合目前元件的要求，SiC有較低的介電係. 數(k~4)，較好的熱穩定性及防止水氣進入的能力。但. 為了符合65nm ...

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