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高介電常數材料在奈米元件關鍵製程技術之研發(I) - 國立交通 ...
第二年度:超低溫超薄臭氧水氧化層與金屬閘極之研究第一部份主要目的在於利用超底溫(室溫)成長超薄臭氧水氧化層做為高介電常數材料的界面層,比較此種界面層和之前幾 ...
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