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二次離子質譜儀
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https://books.google.com.tw/books?id=lYCXDwAAQBAJ&pg=PA52&lpg=PA52&dq=%E4%BA%8C%E6%AC%A1%E9%9B%A2%E5%AD%90%E8%B3%AA%E8%AD%9C%E5%84%80&source=bl&ots=UIwauobGrT&sig=ACfU3U1ZUnBHtjGJdEO8BmNI3ARFSRLdgQ&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwik1eaA2vf4AhXhpZUCHdPrA2wQ6AF6BQizAhAD
材料破損分析 - 第 52 頁 - Google 圖書結果
子層厚度,分析後會在材料表面留下大約 0.1mm 直徑的凹痕,另一種模式(mode)是所謂的靜態二次離子質譜儀,此種二次離子質譜儀的入射離子是不加以聚焦的,入射點大約 3mm ...
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