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二次離子質譜儀
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硅中代位碳原子含量
质检中心拥有两台二次离子质谱仪,是国内唯一能够提供全面的二次离子质谱测试技术的单位,有丰富的操作、试验经验,可以为《碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定二次 ...
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