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飛行時間二次離子質譜儀的原理與應用 - 台灣儀器科技研究中心

二次離子質譜儀 依質量分析器的不同可區分為. 扇型磁場式(magnetic-SIMS)、飛行時間式(time-of- flight SIMS, TOF-SIMS) 及四極柱(quadrupole-. SIMS) 三種。扇形磁場式與 ...

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