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二次離子質譜儀
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SIMS(二次離子質譜) - 歐陸檢驗
樣品通過使用一次離子(通常是O或者Cs)來進行濺射/蝕刻,在濺射過程中形成的二次離子可以利用質譜儀(通常是四極矩或者磁性分析器)來進行提取和分析 ...
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