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过渡金属二硫属化物单层的反应等离子体清洗 - 全网搜

在上述方法中，金属有机化学气相沉积(MOCVD)在晶粒尺寸、厚度控制和薄膜 ... 通过XPS表面分析比较三种聚甲基丙烯酸甲酯去除策略，证实了H2等离子体 ...

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