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X射线光电子能谱仪分析硫化铜的表面结构与组成实验

3)了解XPS的定量分析方法以及元素化学价态测定的方法。 4)掌握XPS对薄膜样品的表面刻蚀分析技术。 2．实验仪器及主要性能参数. PHI QUANTERA II SXM;.

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