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使用参考材料通过SIMS 和XPS 深度分析对Si 1-x Ge x 合金薄膜 ...

摘要比较了多元素合金薄膜的定量分析方法。Si 1-x Ge x 合金膜的原子分数是通过深度剖面分析用二次离子质谱法（SIMS）和X射线光电子能谱法（XPS）测量的。

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