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XRR | 鏡面X射線反射率| EAG實驗室

XRR的理想用途 · 高精度的薄膜厚度和密度測量 · 測量薄膜或界面粗糙度 · 測量整個晶圓的薄膜均勻性 · 測量低k薄膜的孔密度和孔徑 ...

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