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積體電路製作流程
光罩是IC線路設計圖(Layout)的幾何縮小版,使用. 電子束(直徑大小約1um)在 ... 晶圓(Wafer)是指矽半導體積體電路製作所用的矽晶片,由於其形狀為. 圓形 ...
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