控片鍍膜晶片(Blanket Wafer):. SiO2, SiN,Low-k, Ru, Cu, TaN, TiN等鍍膜. 佈線晶片(Patterned Wafer):. 可提供不同線寬及堆疊層需求的測試片,廣泛應用於蝕刻,CMP等 ...
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