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SiC Wafer 製造流程 - 華旭矽材

1. 缐切站將碳化矽晶碇於加工前先進行晶向定位修正；再以多缐切割機搭配適當黏度的鑽石漿料進行晶碇切割， · 2. 導角站分別利用不同粗度的研磨砂輪，分別依序對缐切後晶片 ...

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