1. 手動或自動. 25片整批 wafer傳送或單一 wafer傳送到對應的晶舟 · 2. 讀取晶圓刻號裝置(選配) · 3. 導靜電材質設計 · 4.對應 晶舟尺寸 2”~18” wafers.
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