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wafer晶圓
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積體電路晶圓製造逆向思維之規劃與控制技術
6. 晶圓釋放(wafer release):未加工的空白批量晶圓置入系統中。 7. 晶圓派工(dispatching):閒置的機器對其等候區批量晶圓做選擇性的加工。
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