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晶圓框架/膠膜框架:鐵圈(Wafer Frame/Wafer Ring)介紹 - 正言 ...
晶圓 框架(Wafer Frame),又稱膠膜框架,半導體用不銹鋼鐵圈,於晶圓切割、研磨時用來盛放固定晶圓使用的外框,貼上薄膜防止晶圓於切割、研磨的過程中滑動脫落, ...
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