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晶圓夾盤台的清潔材料Cleaning Wafer™ | Nitto in 台湾
清潔晶圓具有特殊的清潔層,可移除殘留在半導體製造設備上的小微粒。與依序手洗的方法相比,使用清洗晶片可大幅縮短工具的停機時間。清潔晶圓也可用於預防性的維護, ...
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