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什麼是大規模集成電路 - MBA智库百科

近幾年來，快速熱退火技術的發礎非常迅速，已在VLSI晶元製作中廣泛應用。 (3)多層佈線及平坦化技術。多層佈線和互連技術包括介質膜和餘屬的形成與腐蝕、平小化、接觸孔 ...

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