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Turbo Pump(分子泵)的簡介 - GetIt01

當真空度達到1x10-3Torr之後,其平均自由徑為5cm,氣體分子呈現出「分子流」的狀態。這也是Turbo Pump被稱為分子泵的原因。 基本構造圖. 工作原理: ...

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