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渦輪分子泵Turbo Pump

通常有兩種類型的軸承可供選擇：一種是由前級真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的覆合軸承系統，另一種是完全主動式的磁懸浮軸承系統，其轉子懸浮空中， ...

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