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3D-IC TSV導通孔技術|電子產業供應鏈上游材料 - IEK產業情報網

圖一3DIC與傳統IC製程比較; 圖二TSV製程成本分析; 圖三Bosch DRIE 製程步驟及其所形成TSV 導孔之SEM 照片; 表一兩種TSV製程比較表; 圖四TSV製程中AZ正型、負型光阻的 ...

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