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薄膜材料 - 韩松化学
另外,形成薄膜时,在空间内利用进行均一分布的气体特点,形成均衡的膜,调节投入量,可以调整膜的厚度且可以形成超 ... TSA, Trisilylamine, 详细信息请向负责人咨询.
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