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導入碳質硬式罩幕進行金屬層間接觸孔製程氧化層蝕刻之研究

[4] Bill Bosch, “次 90 奈米蝕刻製程改善機制”，半導體科技，2005 年 5月。 ... But, the thinner photo resist will result in the pattern damage during pattern ...

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