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以低介電常數材料作為深紫外光微影之抗反射層研究

半導體 製程中，銅(Cu) 導線已經被用來取代傳統 ... Stress (MPa). 44. Solvent cyclohexanone or or cyclopentanone. 表1. FLARE 物質特性一覽表。 圖3. 實驗流程圖。

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