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tem繞射圖分析
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汎銓積極布局TEM 強化半導體先進製程分析能量 - 電子時報
所謂TEM,是利用高能電子束穿透超薄樣品,擷取直射電子或彈性散射電子成像,抑或作成繞射圖案,以解析超薄樣品的微結構組織及晶體結構。
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