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MEMS、芯片材料分析:FIB、SEM、TEM - 知乎专栏
DB FIB双束聚焦离子束: 特点: 双束聚焦离子束是一种多用途的分析技术,可以用于样品定位切割并将隐藏在各种基底材料中的缺陷揭露出来。
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