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CN101105463B - Tem样品最小有效厚度的检测方法 - Google

但和TEM 不同，FIB是利用高能离子束扫描样品表面，通过检测从样品中被激发出的二次电子，在成像平面形成衬度，显示出图象。 [0005] 现今，FIB更主要的用途是利用其产生 ...

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