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宜特小學堂:鈷真能取代銅?7 奈米製程晶片實測分析 - 科技新報
由TEM 結果可知,鈷(Co)的用途並非取代銅(Cu)。鈷用在銅的阻障層,且只有取代一半的接觸窗。因此宜特材料分析實驗室得以證明鈷(Co) ...
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